TOWA半导体设备（苏州）有限公司总投资3600万美元，经营范围为半导体制造设备、半导体制造用精密模具、有关半导体制造设备的部件、备品备件、精密加工部件、精密成型部件以及相关组件的生产、销售、售后服务。公司占地5公顷，计划分5期完成，首期工程将于2003年7月落成并进入